1 . đế được làm bằng đá cẩm thạch với thiết kế mô-đun , độ cứng tốt và ổn định tốt;
2 . sử dụng động cơ tuyến tính cao cấp và bộ mã hóa cách tử;
3 . áp dụng hệ thống phản hồi quy mô quang học gia tăng;
4 . lắp ráp đến các giai đoạn chéo XY;
5 . độ chính xác lặp lại lên đến ± 1um (trong bất kỳ hành trình 500mm nào);
Tổng cộng 1 trang
