1 . đế nhôm tiêu chuẩn
2 . được điều khiển bởi động cơ tuyến tính , động cơ và stato hoạt động mà không cần tiếp xúc
3 . định vị cách tử / định vị cách tử từ tính
4 . độ chính xác cao , gia tốc cao , tốc độ di chuyển cao
5 . không có lỗi phản ứng dữ dội
6 . độ chính xác lặp lại lên đến ± 2um (trong bất kỳ hành trình 500mm nào)
7 . hành trình dài , hành trình tối đa đạt hơn 4m
8 . cho phép nhiều động cơ độc lập trên cùng một trục
9 . tốc độ di chuyển tối đa là hơn 5m
10 . nhanh chóng lắp ráp thành các giai đoạn chéo XY và các giai đoạn giàn