1 . sử dụng cấu trúc mở , thuận tiện cho việc tháo lắp và bảo trì;
2 . tích hợp hệ thống phản hồi cách tử hoặc cách tử từ tính , độ phân giải là 0 . 1um , 0 . 5um , 1um , 5um cho tùy chọn;
3 . sử dụng động cơ tuyến tính phẳng nam châm chuyển động;
4 . độ chính xác lặp lại lên đến ± 1um;
5 . kích thước nhỏ và cấu trúc đơn giản , phù hợp với tải trọng nhẹ và những dịp có độ chính xác cao;
6 . nhanh chóng lắp ráp thành các giai đoạn chéo XY;
